垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）陣列及制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201880099645.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113169522A 公開（公告）日 2021-07-23
申請公布號 CN113169522A 申請公布日 2021-07-23
分類號 H01S5/42 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 汪洋;賀永祥 申請（專利權(quán)）人 深圳循光科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市順天達(dá)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 郭偉剛
地址 518000 廣東省深圳市光明新區(qū)鳳凰街道高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)邦凱路9號邦凱科技工業(yè)園1棟辦公樓201
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種垂直腔面發(fā)射激光器（VCSEL）陣列，包括：基片（603）；在所述基片上形成規(guī)則圖案的多個VCSEL結(jié)構(gòu)，每個VCSEL結(jié)構(gòu)包括第一反射器區(qū)域、有源區(qū)域和第二反射器區(qū)域，所述多個VCSEL結(jié)構(gòu)能夠同時通電；第一金屬（604），所述第一金屬（604）電連接選定數(shù)量而非全部的所述VCSEL結(jié)構(gòu)以使得當(dāng)僅通電所述選定數(shù)量的所述VCSEL結(jié)構(gòu)（VCSEL 1）時，所述選定數(shù)量的所述VCSEL結(jié)構(gòu)形成預(yù)定的不規(guī)則圖案的發(fā)射器；以及第二金屬（605），所述第二金屬（605）電連接未與所述第一金屬（604）電連接的所述VCSEL結(jié)構(gòu)中的至少某些VCSEL結(jié)構(gòu)（VCSEL 2）。所述第一金屬（604）和所述第二金屬（605）彼此電絕緣。