工藝腔抽真空控制方法、裝置、電子設備和存儲介質(zhì)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210603099.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114688011A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114688011A 申請公布日 2022-07-01
分類號 F04B49/06（2006.01）I;F16K31/02（2006.01）I;G05B19/05（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 液體變?nèi)菔綑C械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 阮正華;顧銳 申請（專利權(quán)）人 無錫邑文電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 226400江蘇省南通市如東縣掘港街道金山路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種工藝腔抽真空控制方法、裝置、電子設備和存儲介質(zhì)，其中方法包括：隔離閥與真空泵之間的管道內(nèi)的壓力降至第一預設壓力后，控制蝶閥由關(guān)閉狀態(tài)打開至初始開合角度，開啟隔離閥，再基于預設打開速度，控制蝶閥打開至全開狀態(tài)；其中，蝶閥在初始開合角度下，以及蝶閥在基于預設打開速度打開至全開狀態(tài)的過程中，真空泵受到的沖擊壓力始終小于第二預設壓力；初始開合角度基于連接工藝腔與真空泵的管道的管道直徑和第二預設壓力確定，預設打開速度基于管道直徑、第二預設壓力和初始開合角度確定；初始開合角度和預設打開速度均與管道直徑成反比、與第二預設壓力成正比。本發(fā)明在保證抽真空過程的安全性的同時兼顧了抽真空的效率。