一種進氣機構(gòu)以及半導(dǎo)體等離子去膠機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210531983.6 申請日 -
公開（公告）號 CN114628218B 公開（公告）日 2022-07-19
申請公布號 CN114628218B 申請公布日 2022-07-19
分類號 H01J37/32（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;G03F7/42（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 孫文彬;杜馬峰 申請（專利權(quán)）人 無錫邑文電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 226400江蘇省南通市如東縣掘港街道金山路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種進氣機構(gòu)以及半導(dǎo)體等離子去膠機，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。該進氣機構(gòu)包括底座、蓋板、進氣管和罐體。罐體固定安裝于蓋板，蓋板與底座鉸接，進氣管的一端與蓋板連接，另一端與罐體連接，底座開設(shè)有進氣通道，進氣通道用于在蓋板轉(zhuǎn)動至蓋合于底座上時與進氣管連通，以使氣體能夠依次通過進氣通道和進氣管進入罐體。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的進氣機構(gòu)由于采用了連接于蓋板上的進氣管以及開設(shè)于底座上的進氣通道，所以無需拆裝即可實現(xiàn)腔體的打開和閉合，節(jié)省時間成本和人力成本，維護效率高。