機(jī)臺(tái)工藝環(huán)境的配置方法與裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210603065.X | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114695209A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-07-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114695209A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-07-01 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67（2006.01）I | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 阮正華;張劍 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 無(wú)錫邑文電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京超凡宏宇專(zhuān)利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 226400江蘇省南通市如東縣掘港街道金山路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N機(jī)臺(tái)工藝環(huán)境的配置方法與裝置，機(jī)臺(tái)包括PLC、傳送腔室和工藝腔室，方法包括：確定PLC中用于工藝環(huán)境配置的I/O點(diǎn)位，基于AI點(diǎn)位的輸入值確定傳送腔室與工藝腔室的初始?jí)毫Σ睿⒃诔跏級(jí)毫Σ畲笥陬A(yù)設(shè)閾值的情況下，基于第一閥門(mén)配置信息對(duì)目標(biāo)閥門(mén)進(jìn)行第一開(kāi)關(guān)操作，對(duì)傳送腔室和工藝腔室分別進(jìn)行抽真空操作，并在操作結(jié)束且工藝腔室與傳送腔室的當(dāng)前壓力差大于預(yù)設(shè)閾值的情況下，對(duì)當(dāng)前壓力較大的目標(biāo)腔室繼續(xù)進(jìn)行抽真空操作直至工藝腔室與傳送腔室的壓力差不大于預(yù)設(shè)閾值，基于第二閥門(mén)配置信息對(duì)目標(biāo)閥門(mén)進(jìn)行第二開(kāi)關(guān)操作，并輸出工藝環(huán)境配置完成提示信息，能夠提高機(jī)臺(tái)工藝環(huán)境的配置效率和質(zhì)量。 |
