機械手取片異常處理方法、裝置、電子設備和存儲介質

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210611818.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114683291A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114683291A 申請公布日 2022-07-01
分類號 B25J9/16（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 手動工具；輕便機動工具；手動器械的手柄；車間設備；機械手;
發(fā)明人 阮正華;孫文彬 申請（專利權）人 無錫邑文電子科技有限公司
代理機構 北京超凡宏宇專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 -
地址 226400江蘇省南通市如東縣掘港街道金山路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種機械手取片異常處理方法、裝置、電子設備和存儲介質，其中方法包括：若機械臂為真空狀態(tài)，則基于針對晶圓盒下一層的取片指令控制機械臂移動到晶圓盒的下一層進行取片操作；若機械臂不為真空狀態(tài)，則獲取晶圓片中心與晶圓承載臺中心間的橫向偏移和縱向偏移；基于橫向偏移和工藝腔腔門的寬度，確定晶圓片是否處于明顯偏移狀態(tài)；若處于明顯偏移狀態(tài)，則更新送回指令，并基于更新后的送回指令將晶圓片送回晶圓盒；否則，更新傳入指令，并基于更新后的傳入指令將晶圓片放置在工藝腔內的預設位置。本發(fā)明通過準確識別各類異常類型并針對性地采用合適的異常處理方式，在提高異常處理效率的同時也可以提高晶圓片放片的精準性。