半導(dǎo)體工藝機(jī)臺(tái)的自由控制方法與裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202210532140.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114661015A | 公開（公告）日 | 2022-06-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114661015A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-06-24 |
| 分類號(hào) | G05B19/418（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分類 | 控制；調(diào)節(jié); |
| 發(fā)明人 | 阮正華;黃寒鐵 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無(wú)錫邑文電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | - |
| 地址 | 226400江蘇省南通市如東縣掘港街道金山路1號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N半導(dǎo)體工藝機(jī)臺(tái)的自由控制方法和裝置，其中方法包括：基于目標(biāo)半導(dǎo)體工藝機(jī)臺(tái)的工藝流程節(jié)點(diǎn)確定目標(biāo)半導(dǎo)體工藝機(jī)臺(tái)對(duì)應(yīng)的多個(gè)工藝流程模塊以及各工藝流程模塊對(duì)應(yīng)的加工設(shè)備，獲取目標(biāo)工藝流程模塊對(duì)應(yīng)的目標(biāo)加工設(shè)備的候選接口定義，基于候選接口定義與目標(biāo)工藝流程模塊的功能匹配結(jié)果確定目標(biāo)接口定義，基于目標(biāo)加工設(shè)備的廠商和型號(hào)獲取目標(biāo)加工設(shè)備的操作文檔，基于目標(biāo)加工設(shè)備對(duì)應(yīng)的目標(biāo)接口定義和操作文檔生成目標(biāo)加工設(shè)備的驅(qū)動(dòng)程序，基于目標(biāo)加工設(shè)備的驅(qū)動(dòng)程序生成目標(biāo)半導(dǎo)體工藝機(jī)臺(tái)的控制程序，并基于控制程序?qū)δ繕?biāo)半導(dǎo)體工藝機(jī)臺(tái)進(jìn)行自由控制，能夠縮短半導(dǎo)體工藝機(jī)臺(tái)控制軟件的研發(fā)和維護(hù)周期，降低成本。 |
