靶材噴涂裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621397813.X 申請日 -
公開（公告）號 CN206337308U 公開（公告）日 2017-07-18
申請公布號 CN206337308U 申請公布日 2017-07-18
分類號 C23C14/34 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 黃小鷗 申請（專利權）人 北京華德星科技有限責任公司
代理機構 北京市合德專利事務所 代理人 李本源
地址 102206 北京市昌平區(qū)小沙河東甲11號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新公開了一種靶材噴涂裝置，它包括靶材轉臺、行走機構、噴槍支座、噴槍和PLC控制器，所述靶材轉臺裝置在地面上，所述行走機構平行裝置在靶材轉臺的一側，行走機構頂部安裝噴槍支座，所述噴槍安裝在噴槍支座上，所述PLC控制器分別與靶材轉臺、行走機構和噴槍連接。本實用新型通過PLC控制器控制靶材轉臺的軸向及徑向的旋轉速度和移動速度、定位行走機構頂部噴槍支座的準確位置、確定噴槍的噴涂量，在PLC控制器的控制下，使工件軸向及徑向移動速度、噴槍的噴涂量以及行走機構的位置均可以精確調控。