一種抗氧化、防污染的耐用型化合物蒸發(fā)源

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011614127.4 申請日 -
公開（公告）號 CN112853276A 公開（公告）日 2021-05-28
申請公布號 CN112853276A 申請公布日 2021-05-28
分類號 C23C14/26(2006.01)I;C23C14/54(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 徐根保;劉林;王昌華;王寶玉;崔揚揚;吳琦;程超 申請（專利權(quán)）人 凱盛光伏材料有限公司
代理機構(gòu) 蚌埠鼎力專利商標事務(wù)所有限公司 代理人 王琪
地址 233010安徽省蚌埠市燕南路1001號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種抗氧化、防污染的耐用型化合物蒸發(fā)源，屬于真空鍍膜領(lǐng)域，包括：坩堝、加熱筒、水冷套和電極法蘭，加熱筒內(nèi)有兩級加熱圖層和測溫熱電偶；電極法蘭上開有冷卻水槽道、熱電偶線孔、加熱線孔和支撐桿孔，側(cè)面設(shè)有與冷卻水槽道相通的進水口和出水口，測溫熱電偶的引線穿過熱電偶線孔與熱電偶接線柱連接，一級加熱圖層和二級加熱圖層的引線穿過加熱線孔并與加熱電極連接，支撐桿穿過支撐桿孔并與磁流體控制器連接。本發(fā)明的蒸發(fā)源通過直接在加熱筒內(nèi)壁制作兩級加熱圖層，解決了現(xiàn)有技術(shù)存在的加熱絲易老化、氧化的問題，節(jié)約更換加熱絲的成本，而且克服了現(xiàn)有技術(shù)對坩堝加熱不均勻的缺點，解決了熱損失及物料受熱不均勻的問題。??