一種等離子刻蝕用夾緊裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201120118281.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN202067763U 公開（公告）日 2011-12-07
申請(qǐng)公布號(hào) CN202067763U 申請(qǐng)公布日 2011-12-07
分類號(hào) H01J37/32(2006.01)I;H01J37/20(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 成品奇;李鵬飛;王輝;胥健奇;張茂勝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇伯樂達(dá)光伏有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 江蘇伯樂達(dá)光伏有限公司
地址 224051 江蘇省鹽城市亭湖區(qū)興洋大道1號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提出的等離子刻蝕用夾緊裝置包括第一夾具、與第一夾具形狀相同的第二夾具、兩個(gè)連接桿、兩個(gè)緊固元件，第一夾具和第二夾具的兩側(cè)均具有孔洞，兩個(gè)連接桿的一端分別固定在第一夾具的兩個(gè)孔洞內(nèi)，兩個(gè)連接桿的另一端分別穿過第二夾具的兩個(gè)孔洞，所述第二夾具通過緊固元件與兩個(gè)連接桿活動(dòng)連接，等離子刻蝕用夾緊裝置還包括兩個(gè)表面光滑的石英夾板，石英夾板能放入第一夾具和第二夾具之間，并且兩個(gè)石英夾板分別與第一夾具和第二夾具緊密接觸。本實(shí)用新型提供的等離子刻蝕用夾緊裝置中的石英板在長(zhǎng)期使用過程中，刻蝕中的高溫等離子體粒子不會(huì)對(duì)石英板造成邊緣破損，更不會(huì)產(chǎn)生石英顆粒而保證真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)正常。