制造射頻諧振器和濾波器的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201810006424.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN108259020A | 公開(kāi)（公告）日 | 2018-07-06 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108259020A | 申請(qǐng)公布日 | 2018-07-06 |
| 分類(lèi)號(hào) | H03H9/17;H03H9/54;H03H3/02 | 分類(lèi) | 基本電子電路; |
| 發(fā)明人 | 不公告發(fā)明人 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 珠海晶訊聚震科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州嘉權(quán)專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 珠海晶訊聚震科技有限公司 |
| 地址 | 519000 廣東省珠海市高新區(qū)南方軟件園Bee | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種制造由諧振器陣列組成的RF濾波器的方法，包括：獲得可移除載體；生長(zhǎng)壓電薄膜；施加第一電極到薄膜；在硅蓋上制備背膜；將背膜附接至第一電極；分離可移除載體；測(cè)量和修整壓電薄膜；制造諧振器島；向下蝕刻穿過(guò)涂層和背膜，至二氧化硅層以形成溝槽；將鈍化層施加至溝槽和壓電島；沉積第二電極層；添加連接至轉(zhuǎn)接線(xiàn)路板；移除第二電極材料以留出諧振器陣列；于陣列周界建造圍繞墊圈；將硅蓋削?。辉诠枭w上鉆孔，蝕刻掉二氧化硅，在背膜和硅蓋之間制造上腔體；將晶圓分割成單元濾波器陣列；獲取轉(zhuǎn)接線(xiàn)路板；將大壩施加于轉(zhuǎn)接線(xiàn)路板；通過(guò)回流焊接錫頭將單元濾波器陣列耦合至轉(zhuǎn)接線(xiàn)路板；使用聚合物進(jìn)行底部封裝；以及分離成濾波器模塊。 |
