制造具改進(jìn)腔體的單晶壓電射頻諧振器和濾波器的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810640995.6 申請日 -
公開（公告）號 CN109039296B 公開（公告）日 2022-02-18
申請公布號 CN109039296B 申請公布日 2022-02-18
分類號 H03H9/02（2006.01）I;H03H9/05（2006.01）I;H03H9/17（2006.01）I;H03H9/58（2006.01）I;CN 107025321 A,2017.08.08;CN 107425112 A,2017.12.01;CN 107317561 A,2017.11.03;CN 107171654 A,2017.09.15;WO 2013015581 A1,2013.01.31;EP 1542362 A1,2005.06.15;JP 2004357306 A,2004.12.16;US 2008238575 A1,2008.10.02 程維維.基于薄膜體聲波諧振器（FBAR）技術(shù)的無線傳感集成系統(tǒng)研究.《基于薄膜體聲波諧振器（FBAR）技術(shù)的無線傳感集成系統(tǒng)研究 信息科技輯》.2015,;Gayathri Pillai等.An apodized 3-GHz thin film piezoelectric on substrate FBAR.《2017 Joint Conference of the European Frequency and Time Forum and IEEE International Frequency Control Symposium （EFTF/IFCS）》.2017, 分類 基本電子電路;
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法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種制造FBAR濾波器裝置的方法，F(xiàn)BAR濾波器裝置包括一個諧振器陣列，每個諧振器包括夾在第一和第二電極之間的單晶壓電薄膜，其中第一電極由空氣腔體上的支撐薄膜支撐，所述空氣腔體被嵌入硅柄上的二氧化硅層中，具有穿過所述硅柄并進(jìn)入空氣腔體中的硅通孔，在二氧化硅層中的所述空氣腔體的側(cè)壁被能抵抗二氧化硅蝕刻劑的邊界溝槽所限定。