射頻諧振器與濾波器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201711482051.2 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN108566177B 公開(公告)日 2021-12-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN108566177B 申請(qǐng)公布日 2021-12-21
分類號(hào) H03H9/17(2006.01)I;H03H9/56(2006.01)I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 卓爾·赫爾維茨 申請(qǐng)(專利權(quán))人 珠海晶訊聚震科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 俞梁清
地址 519000廣東省珠海市高新區(qū)南方軟件園Bee
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種濾波器封裝元件,包括夾裹在下電極與一組上電極之間的一組壓電薄膜:各個(gè)壓電薄膜和上電極通過絕緣材料分隔開來;下電極連接至一轉(zhuǎn)接板,下電極和轉(zhuǎn)接板之間具有第一腔體;濾波器封裝元件還包括具有既定的厚度的硅晶圓,與在硅晶圓和硅蓋之間的一組上層腔體一起結(jié)合在上電極上方;每個(gè)上層腔體與一組的壓電薄膜中一個(gè)居中對(duì)齊,上層腔體四周為包括絕緣材料的側(cè)壁。