射頻諧振器電極和薄膜組合及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810005261.0 申請日 -
公開（公告）號 CN108259019B 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN108259019B 申請公布日 2021-07-20
分類號 H03H9/13;H03H9/17;H03H3/02 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 珠海晶訊聚震科技有限公司
代理機構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 俞梁清
地址 519000 廣東省珠海市高新區(qū)南方軟件園Bee
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種厚度在200?500nm范圍內(nèi)的壓電諧振膜，其中厚度可以控制在1％以內(nèi)；該薄膜夾裹在電極之間以形成諧振器，其中至少一個電極包括鋁，因此歸功于電極的重量使阻尼最小化。