新型射頻諧振器薄膜及其構(gòu)造方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201711462702.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN108173530B | 公開（公告）日 | 2021-09-21 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN108173530B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-09-21 |
| 分類號(hào) | H03H9/02（2006.01）I;H03H9/17（2006.01）I | 分類 | 基本電子電路; |
| 發(fā)明人 | 不公告發(fā)明人 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 珠海晶訊聚震科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 俞梁清 |
| 地址 | 519000廣東省珠海市高新區(qū)南方軟件園Bee+ | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種首次采用分子束外延技術(shù)制備的BaxSr（1?x）TiO3（BST）單晶薄膜，薄膜的厚度通常為200nm至500nm，并且公差可以被控制在1％以內(nèi)。其可以制造在藍(lán)寶石晶圓載體上，然后可以將其分離。薄膜的平滑度具有小于1nm的RMS。這種膜非常有希望用于下一代RF濾波器。 |
