基于微環(huán)諧振腔的硅基熱光調(diào)制器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410582981.5 申請日 -
公開（公告）號 CN104280899A 公開（公告）日 2015-01-14
申請公布號 CN104280899A 申請公布日 2015-01-14
分類號 G02F1/01(2006.01)I 分類 光學;
發(fā)明人 趙佳;李祥鵬 申請（專利權(quán)）人 上海曼光信息科技有限公司
代理機構(gòu) 濟南金迪知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 寧欽亮
地址 201210 上海市浦東新區(qū)中科路1867號C座9樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種基于微環(huán)諧振腔的硅基熱光調(diào)制器，包括硅襯底和二氧化硅下包層，二氧化硅下包層設置在硅襯底上，二氧化硅下包層上設置有兩個直波導和—個環(huán)形波導，兩個直波導分別作為接收入射光的主信道波導和輸出出射光的下信道波導，環(huán)形波導置于兩個直波導之間，并與兩個直波導之間填充聚合物，兩側(cè)聚合物表面均覆蓋有熱電極。本發(fā)明在微環(huán)諧振腔的主信道波導與環(huán)形波導以及環(huán)形波導與下信道波導之間填充聚合物，并且在聚合物上分別覆蓋熱電極，通過控制兩個熱電極電壓，改變聚合物材料的折射率，從而改變光在直波導到環(huán)形波導之間的光程，使諧振波長發(fā)生漂移，實現(xiàn)對光信號的調(diào)制，具有結(jié)構(gòu)簡單、易制作、調(diào)制效率高的特點。