基于微環(huán)諧振腔的硅基熱光調(diào)制器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410582981.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104280899B 公開（公告）日 2016-11-23
申請(qǐng)公布號(hào) CN104280899B 申請(qǐng)公布日 2016-11-23
分類號(hào) G02F1/01(2006.01)I 分類 光學(xué);
發(fā)明人 趙佳;李祥鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海曼光信息科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南金迪知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 寧欽亮
地址 201210 上海市浦東新區(qū)中科路1867號(hào)C座9樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種基于微環(huán)諧振腔的硅基熱光調(diào)制器，包括硅襯底和二氧化硅下包層，二氧化硅下包層設(shè)置在硅襯底上，二氧化硅下包層上設(shè)置有兩個(gè)直波導(dǎo)和—個(gè)環(huán)形波導(dǎo)，兩個(gè)直波導(dǎo)分別作為接收入射光的主信道波導(dǎo)和輸出出射光的下信道波導(dǎo)，環(huán)形波導(dǎo)置于兩個(gè)直波導(dǎo)之間，并與兩個(gè)直波導(dǎo)之間填充聚合物，兩側(cè)聚合物表面均覆蓋有熱電極。本發(fā)明在微環(huán)諧振腔的主信道波導(dǎo)與環(huán)形波導(dǎo)以及環(huán)形波導(dǎo)與下信道波導(dǎo)之間填充聚合物，并且在聚合物上分別覆蓋熱電極，通過控制兩個(gè)熱電極電壓，改變聚合物材料的折射率，從而改變光在直波導(dǎo)到環(huán)形波導(dǎo)之間的光程，使諧振波長發(fā)生漂移，實(shí)現(xiàn)對(duì)光信號(hào)的調(diào)制，具有結(jié)構(gòu)簡單、易制作、調(diào)制效率高的特點(diǎn)。