基于微球的反射式高分辨顯微成像系統(tǒng)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN201921305129.8 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN210323558U | 公開（公告）日 | 2020-04-14 |
| 申請公布號 | CN210323558U | 申請公布日 | 2020-04-14 |
| 分類號 | G02B21/02(2006.01)I | 分類 | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 萬新軍;陶雪辰;蘇程程;陳紅豆;宋可;呂宋;解樹平 | 申請（專利權(quán)）人 | 蘇州瑞霏光電科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 蘇州周智專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 蘇州瑞霏光電科技有限公司 |
| 地址 | 215400江蘇省蘇州市太倉市婁東街道北京東路88號東B幢 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種基于微球的反射式高分辨顯微成像系統(tǒng)，包括微球、顯微攝像模塊、接收端和激發(fā)光源，所述微球放置于樣品的上表面，所述微球上覆蓋一蓋玻片，所述顯微攝像模塊位于樣品的正上方，所述激發(fā)光源位于所述顯微攝像模塊的一側(cè)；所述顯微攝像模塊包括第一透鏡組、反射式照明結(jié)構(gòu)、第二透鏡組和圖像傳感器，所述第一透鏡組和所述第二透鏡組對稱設(shè)置，所述圖像傳感器與所述接收端電性連接，所述激發(fā)光源發(fā)出的光源照射于所述反射式照明結(jié)構(gòu)上。本實(shí)用新型具有分辨率高、體積小、結(jié)構(gòu)簡單、成本低、穩(wěn)定性高、模塊化等優(yōu)點(diǎn)，適用于測試硅片、半導(dǎo)體等不透明樣品。?? |
