基于反射成像的曲面鏡面三維檢測裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201921460966.8 申請日 -
公開(公告)號 CN210321639U 公開(公告)日 2020-04-14
申請公布號 CN210321639U 申請公布日 2020-04-14
分類號 G01B11/25(2006.01)I 分類 測量;測試;
發(fā)明人 萬新軍 申請(專利權(quán))人 蘇州瑞霏光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州周智專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 蘇州瑞霏光電科技有限公司
地址 215400江蘇省蘇州市太倉市婁東街道北京東路88號東B幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種基于反射成像的曲面鏡面三維檢測裝置,包括工作架,所述工作架的內(nèi)部安裝有樣品臺、圖像發(fā)生裝置、至少兩組圖像采集裝置和升降裝置;所述圖像發(fā)生裝置和兩組所述圖像采集裝置均位于所述樣品臺的上方;所述升降裝置驅(qū)動(dòng)所述樣品臺靠近和/或遠(yuǎn)離所述圖像采集裝置;所述圖像采集裝置與接收端信號連接。本實(shí)用新型具有至少兩組圖案采集裝置,同時(shí)具有樣品升降裝置,可以根據(jù)被測曲面鏡面樣品的尺寸和表面陡度范圍來調(diào)節(jié)測量視場大小,適應(yīng)性強(qiáng),采集的三維輪廓數(shù)據(jù)與標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)進(jìn)行對比處理得到三維輪廓誤差,提高檢測鏡面輪廓的精度與效率。??