一種玻璃基板薄膜濺射靶材的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011284457.1 申請日 -
公開（公告）號 CN112323029A 公開（公告）日 2021-02-05
申請公布號 CN112323029A 申請公布日 2021-02-05
分類號 C23C14/34(2006.01)I; 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 劉耀文;黃軍浩 申請（專利權(quán)）人 光洋新材料科技（昆山）有限公司
代理機構(gòu) 北京科億知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 湯東鳳
地址 215000江蘇省蘇州市昆山市玉山鎮(zhèn)吳淞江工業(yè)園晨豐路南側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種玻璃基板薄膜濺射靶材的制備方法，其技術(shù)方案是：包括基料、輔料和添加料，還包括以下加工步驟：S1：將基料、輔料和添加料均通過研磨機研磨成金屬粉末；S2：將S1中研磨得到的金屬粉末采用球磨機均勻混合，得到混合粉末；S3：將S2中的混合粉末放入酸溶液中浸泡清洗并攪拌，而后取出烘干，一種玻璃基板薄膜濺射靶材的制備方法有益效果是：通過設置金屬銀和金屬鉑為基礎(chǔ)原料，配以金屬銅、金屬金、金屬鈀和為輔料，同時再通過添加一定配比的金屬鋁、金屬錳和金屬錫對靶材性能改善提升，使得值得的靶材各方面性能優(yōu)異均衡，耐磨耐腐蝕能力較好，同時自身強度得到提升，韌性和延展性依然保留，具有較好的可塑性和延展性。??