低溫面形攝影測(cè)量方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201510599033.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN105403168A 公開（公告）日 2016-03-16
申請(qǐng)公布號(hào) CN105403168A 申請(qǐng)公布日 2016-03-16
分類號(hào) G01B11/24(2006.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 錢元;婁錚;劉昌儒;范生宏;王海仁;左營(yíng)喜;楊戟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京普達(dá)迪泰科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京鐘山專利代理有限公司 代理人 中國科學(xué)院紫金山天文臺(tái);北京普達(dá)迪泰科技有限公司
地址 210008 江蘇省南京市鼓樓區(qū)北京西路2號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種低溫面形攝影測(cè)量方法，其采用高分辨率工業(yè)相機(jī)，結(jié)合低溫電機(jī)驅(qū)動(dòng)的自動(dòng)測(cè)試臺(tái)，實(shí)現(xiàn)測(cè)量設(shè)備在低溫環(huán)境實(shí)驗(yàn)艙中的自動(dòng)化拍攝；利用常溫下三坐標(biāo)儀測(cè)量結(jié)果對(duì)靶標(biāo)厚度進(jìn)行標(biāo)定，從而消除了由靶標(biāo)厚度差異造成的系統(tǒng)測(cè)量誤差。本發(fā)明在低溫環(huán)境實(shí)驗(yàn)艙中，實(shí)現(xiàn)了2.1微米rms的重復(fù)測(cè)量精度、測(cè)量效果理想，可在常溫至-60℃的溫度范圍內(nèi)測(cè)量了多種板材結(jié)構(gòu)的面形的變化規(guī)律。