一種光罩人工擦拭裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201320366113.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN203385992U 公開(kāi)（公告）日 2014-01-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN203385992U 申請(qǐng)公布日 2014-01-08
分類號(hào) G03F1/82(2012.01)I;G03F1/84(2012.01)I;B08B13/00(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 丁和平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 彩虹（佛山）平板顯示有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 彩虹（佛山）平板顯示有限公司
地址 528300 廣東省佛山市順德區(qū)大良街道五沙新悅路13號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種光罩人工擦拭裝置，包括支撐架，支撐架上設(shè)置有與光罩尺寸相匹配的旋轉(zhuǎn)平臺(tái)，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)通過(guò)支撐旋轉(zhuǎn)軸承安裝在支撐架上；旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的兩側(cè)設(shè)置有用于照亮旋轉(zhuǎn)平臺(tái)上的光罩的兩個(gè)表面檢查燈。本實(shí)用新型的旋轉(zhuǎn)臺(tái)的尺寸與光罩的尺寸相匹配，光罩能夠準(zhǔn)確卡在旋轉(zhuǎn)臺(tái)上，擦拭時(shí)不會(huì)前后左右移動(dòng)；另外，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)通過(guò)支撐旋轉(zhuǎn)軸承能在支撐架旋轉(zhuǎn)任意角度，保證能夠看到光罩上面任何一點(diǎn)的異物；最后，旋轉(zhuǎn)平臺(tái)的兩邊各有一臺(tái)燈頭可任意轉(zhuǎn)動(dòng)的表面檢查燈，以達(dá)到所需要照射的角度；本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，完全適用于在小型生產(chǎn)線或?qū)嶒?yàn)室內(nèi)對(duì)光罩的人工擦拭。