一種深紫外LED外延生長設(shè)備伸縮裝置
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202022119223.3 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212991113U | 公開（公告）日 | 2021-04-16 |
| 申請公布號 | CN212991113U | 申請公布日 | 2021-04-16 |
| 分類號 | H01L21/20(2006.01)I;H01L33/00(2010.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 吳思 | 申請（專利權(quán)）人 | 南京南大光電工程研究院有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 上海創(chuàng)開專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 汪發(fā)成 |
| 地址 | 210000江蘇省南京市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)恒園路龍港科技園B2棟1101室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種深紫外LED外延生長設(shè)備伸縮裝置，涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)裝置技術(shù)領(lǐng)域，針對現(xiàn)有的生產(chǎn)不穩(wěn)定的問題，現(xiàn)提出如下方案，其包括生產(chǎn)箱和齒輪組，所述生產(chǎn)箱的中間固定連接有的分隔板，所述分隔板的下方設(shè)置有與生產(chǎn)箱固定連接的第一電機，所述第一電機的輸出端通過齒輪組連接有第一變速箱，所述第一變速箱通過齒輪組固定套接有與生產(chǎn)箱轉(zhuǎn)動連接的旋轉(zhuǎn)軸，所述旋轉(zhuǎn)軸的外壁滑動套接有旋轉(zhuǎn)桿，本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，使用方便，可以實現(xiàn)放置板多角度的調(diào)節(jié)，改變與散氣箱的相對位置，同時可以改變噴氣箱出氣的位置，保證原料生長的穩(wěn)定和均勻，進而保證成品的質(zhì)量，降低廢品率。?? |
