一種檢測方法和檢測設備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010981796.9 申請日 -
公開（公告）號 CN114199891A 公開（公告）日 2022-03-18
申請公布號 CN114199891A 申請公布日 2022-03-18
分類號 G01N21/95（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 陳魯;方一;黃有為;魏林鵬 申請（專利權）人 深圳中科飛測科技股份有限公司
代理機構 北京集佳知識產權代理有限公司 代理人 李婷婷
地址 518109廣東省深圳市龍華區(qū)大浪街道同勝社區(qū)上橫朗第四工業(yè)區(qū)2號101、201、301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種檢測方法和檢測設備，包括：提供檢測光，所述檢測光在待測物表面形成檢測光斑，所述檢測光經所述待測物形成信號光；探測所述待測物表面探測區(qū)內的第一信號光，所述探測區(qū)與所述檢測光斑至少部分重疊，調整第一信號光的檢測區(qū)域的尺寸，其中，調整第一信號光的檢測區(qū)域的尺寸包括：在對所述待測物遠離其中心的區(qū)域進行檢測時，將檢測第一信號光的檢測區(qū)域調整為第一尺寸，在對所述待測物靠近其中心的區(qū)域進行檢測時，將檢測第一信號光的檢測區(qū)域調整為第二尺寸，在垂直于掃描方向的方向上，所述第一尺寸大于所述第二尺寸，以減小光斑內外兩側的掃描速度差異，提高檢測的靈敏度。