一種檢測(cè)裝置和檢測(cè)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010857187.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN114184138A 公開(kāi)（公告）日 2022-03-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN114184138A 申請(qǐng)公布日 2022-03-15
分類(lèi)號(hào) G01B11/24（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;F21S2/00（2016.01）I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 陳魯;劉健鵬;范鐸;張鵬斌;張嵩 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 深圳中科飛測(cè)科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 趙曉榮
地址 518109廣東省深圳市龍華區(qū)大浪街道同勝社區(qū)上橫朗第四工業(yè)區(qū)2號(hào)101、201、301
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種檢測(cè)裝置和檢測(cè)方法。檢測(cè)裝置包括：照明組件和成像組件；照明組件包括：穹頂組件；成像組件包括：成像鏡頭和探測(cè)器；當(dāng)穹頂組件被點(diǎn)亮?xí)r，用于對(duì)待測(cè)物進(jìn)行照明。穹頂組件位于成像組件的光軸的一側(cè)，且所述穹頂組件朝著背離所述光軸的方向凹陷。成像鏡頭用于收集經(jīng)待測(cè)物反射和/或散射的光并提供給探測(cè)器；探測(cè)器用于根據(jù)所述成像鏡頭收集的光形成對(duì)待測(cè)物的檢測(cè)圖像。由于穹頂組件能夠提供非常豐富的照明方向，因此，能夠?qū)Ρ粶y(cè)物的多種類(lèi)型的區(qū)域進(jìn)行豐富的照明，便于對(duì)這些多種類(lèi)型的區(qū)域進(jìn)行成像檢測(cè)。如此一來(lái)，提升了對(duì)待測(cè)物的檢測(cè)準(zhǔn)確性，避免調(diào)整待測(cè)物的角度或改變照射角度，進(jìn)而提升了檢測(cè)效率和檢測(cè)量。