一種干式真空泵的防卡死裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201820351784.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN207989314U 公開（公告）日 2018-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN207989314U 申請(qǐng)公布日 2018-10-19
分類號(hào) F04C23/02;F04C28/28;F04C18/16;F04C25/02 分類 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 李嘯;林培英;黃洪福;朱佰喜 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市志橙半導(dǎo)體材料股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州市天河廬陽專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 胡濟(jì)元
地址 518054 廣東省深圳市南山區(qū)南山街道南山大道康樂大廈福海閣10F
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開一種干式真空泵的防卡死裝置，包括機(jī)架和設(shè)在機(jī)架上的電機(jī)，所述電機(jī)的動(dòng)力輸出軸與干式真空泵的螺桿連接。本實(shí)用新型能夠讓停止作業(yè)后的干式真空泵的螺桿繼續(xù)保持轉(zhuǎn)動(dòng)，從而保證干式真空泵內(nèi)的溫度不會(huì)過低，避免泵內(nèi)的顆粒凝結(jié)，確保干式真空泵的螺桿不會(huì)被卡死；另外，還能夠減少能耗，節(jié)省人力。