一種適用于深槽超結(jié)器件的結(jié)終端及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210563935.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103887338A 公開（公告）日 2014-06-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN103887338A 申請(qǐng)公布日 2014-06-25
分類號(hào) H01L29/78;H01L29/06;H01L21/336 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海迎翱芯物聯(lián)網(wǎng)合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機(jī)構(gòu) 上海金盛協(xié)力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 王松
地址 200050 上海市長(zhǎng)寧區(qū)定西路1328號(hào)3樓307室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明揭示了一種適用于深槽超結(jié)器件的結(jié)終端及其制備方法，所述結(jié)終端包括半導(dǎo)體基底、第一電極、半導(dǎo)體區(qū)域、第二電極。第一電極形成于半導(dǎo)體基底的下端面；半導(dǎo)體區(qū)域形成于半導(dǎo)體基底的上端面，其具有第一導(dǎo)電類型，半導(dǎo)體區(qū)域包括有源區(qū)域、第一終端區(qū)域、第二終端區(qū)域。有源區(qū)域設(shè)有多個(gè)第一溝槽，第一溝槽內(nèi)填充具有第二導(dǎo)電類型的半導(dǎo)體材料；第一終端區(qū)域設(shè)有多個(gè)第三溝槽，第三溝槽內(nèi)填充具有第二導(dǎo)電類型的半導(dǎo)體材料；第二終端區(qū)域設(shè)有至少一個(gè)第二溝槽，第二溝槽內(nèi)為具有高介電常數(shù)的絕緣材料。第二電極連接有源區(qū)域的第一溝槽，覆蓋在有源區(qū)域、第一終端區(qū)域、第二終端區(qū)域之上。本發(fā)明結(jié)終端可改善結(jié)終端器件耐高壓特性。