一種微機電六軸慣性傳感器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201210585811.3 申請日 -
公開（公告）號 CN103900546B 公開（公告）日 2016-08-03
申請公布號 CN103900546B 申請公布日 2016-08-03
分類號 G01C19/5719;G01C19/5733 分類 測量；測試;
發(fā)明人 焦繼偉;王敏昌;宓斌瑋;張穎 申請（專利權(quán)）人 上海迎翱芯物聯(lián)網(wǎng)合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所 代理人 李儀萍
地址 201815 上海市嘉定區(qū)興賢路1368號3幢3157室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種微機電六軸慣性傳感器，由三軸角速度傳感器及設(shè)置于其內(nèi)、并與其慣性質(zhì)量中心重合的且相互獨立的三軸加速度傳感器組成。由于慣性質(zhì)量中心重合，從而提高了微機電六軸慣性傳感器的組合解析精度；本發(fā)明外圍的三軸微機電角速度傳感器為對稱結(jié)構(gòu)，且與驅(qū)動質(zhì)量塊連接的錨點形成三點支撐結(jié)構(gòu)，提高了本發(fā)明的可靠性及穩(wěn)定性；本發(fā)明采用兩對第一轉(zhuǎn)動質(zhì)量塊分別或同時檢測所述傳感器所在平面內(nèi)相互垂直的兩個方向外部角速度，有效減少了檢測信號之間的耦合，提高了信噪比，提高了被檢測方向的外部角速度檢測精度；本發(fā)明利用斜驅(qū)動梁實現(xiàn)平動驅(qū)動向轉(zhuǎn)動驅(qū)動的變換，使本發(fā)明具有集成密度高、占用面積小、成本低等優(yōu)勢。