一種微機(jī)電六軸慣性傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210585811.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103900546A 公開（公告）日 2016-08-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN103900546A 申請(qǐng)公布日 2016-08-03
分類號(hào) G01C19/5719;G01C19/5733 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 焦繼偉;王敏昌;宓斌瑋;張穎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海迎翱芯物聯(lián)網(wǎng)合伙企業(yè)（有限合伙）
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所 代理人 李儀萍
地址 中國(guó)香港灣仔告士打道128號(hào)祥豐大廈15樓A-B室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種微機(jī)電六軸慣性傳感器，由三軸角速度傳感器及設(shè)置于其內(nèi)、并與其慣性質(zhì)量中心重合的且相互獨(dú)立的三軸加速度傳感器組成。由于慣性質(zhì)量中心重合，從而提高了微機(jī)電六軸慣性傳感器的組合解析精度；本發(fā)明外圍的三軸微機(jī)電角速度傳感器為對(duì)稱結(jié)構(gòu)，且與驅(qū)動(dòng)質(zhì)量塊連接的錨點(diǎn)形成三點(diǎn)支撐結(jié)構(gòu)，提高了本發(fā)明的可靠性及穩(wěn)定性；本發(fā)明采用兩對(duì)第一轉(zhuǎn)動(dòng)質(zhì)量塊分別或同時(shí)檢測(cè)所述傳感器所在平面內(nèi)相互垂直的兩個(gè)方向外部角速度，有效減少了檢測(cè)信號(hào)之間的耦合，提高了信噪比，提高了被檢測(cè)方向的外部角速度檢測(cè)精度；本發(fā)明利用斜驅(qū)動(dòng)梁實(shí)現(xiàn)平動(dòng)驅(qū)動(dòng)向轉(zhuǎn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)的變換，使本發(fā)明具有集成密度高、占用面積小、成本低等優(yōu)勢(shì)。