一種晶圓盒運(yùn)輸裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111435675.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114141677A 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN114141677A 申請公布日 2022-03-04
分類號 H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 杜宬;高博揚(yáng) 申請（專利權(quán)）人 北京知形科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京知呱呱知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孫志一
地址 102402北京市房山區(qū)弘安路85號院2號樓2層201室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓盒運(yùn)輸裝置，涉及運(yùn)輸晶圓的載具技術(shù)領(lǐng)域，包括罩子本體、減震器和內(nèi)部儲存有硅片的晶圓盒，罩子本體內(nèi)部設(shè)有晶圓盒和減震器，減震器位于晶圓盒和罩子本體之間。晶圓盒通過減震器支撐設(shè)置在罩子本體的內(nèi)部，并且晶圓盒與罩子本體之間通過減震器進(jìn)行隔離，減緩AGV機(jī)器人在移動過程中產(chǎn)生的震動通過罩子本體傳導(dǎo)到晶圓盒，保護(hù)晶圓盒內(nèi)的硅片，避免造成硅片損壞的情況，晶圓盒位于罩子本體內(nèi)部，防塵性好，機(jī)器人通過視覺判斷晶元盒輪廓，確定晶元盒的位置和姿態(tài)，提高抓取定位精度，適合機(jī)械臂取放。