一種設(shè)置防漏硅內(nèi)襯管的單晶爐抽空管道

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201822005730.7 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN209537672U 公開(公告)日 2019-10-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN209537672U 申請(qǐng)公布日 2019-10-25
分類號(hào) C30B15/00(2006.01)I; C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 李德建; 申朝倫; 張志耀 申請(qǐng)(專利權(quán))人 邢臺(tái)晶龍新能源有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 北京慕達(dá)星云知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 邢臺(tái)晶龍新能源有限責(zé)任公司
地址 054000 河北省邢臺(tái)市邢臺(tái)經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)信都路188號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種設(shè)置防漏硅內(nèi)襯管的單晶爐抽空管道,包括抽空管道和防漏硅內(nèi)襯管,所述防漏硅內(nèi)襯管插入所述抽空管道內(nèi),并與所述抽空管道的內(nèi)壁貼合;所述防漏硅內(nèi)襯管為碳?碳復(fù)合材料制成的內(nèi)襯管,并且所述防漏硅內(nèi)襯管一端設(shè)置有外凸的限位環(huán);所述防漏硅內(nèi)襯管插入所述抽空管道與單晶爐爐體連接的一端內(nèi),并通過所述限位環(huán)進(jìn)行限位。本實(shí)用新型的防漏硅內(nèi)襯管采用碳?碳復(fù)合材料,具有超強(qiáng)的耐高溫性和良好的熱膨脹系數(shù),在直接接觸硅液后不存在燙漏和急劇收縮而破損的現(xiàn)象,避免損傷電器等部件,從而有效降低事故造成的財(cái)產(chǎn)損失和對(duì)現(xiàn)場工作人員的安全風(fēng)險(xiǎn)。