一種ITO燒結(jié)靶材的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810671772.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108947520A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN108947520A 申請(qǐng)公布日 2021-06-11
分類(lèi)號(hào) C04B35/457;C04B35/622;C23C14/35 分類(lèi) 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕;
發(fā)明人 梅方勝;袁鐵錘;陳立三;楊楊;劉文德;李瑞迪;趙為上;苗華磊 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 株洲冶煉集團(tuán)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長(zhǎng)沙朕揚(yáng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 周孝湖
地址 412000 湖南省株洲市天元區(qū)淥江路10號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種ITO燒結(jié)靶材的制備方法，包括以下步驟：將In2O3粉末和SnO2粉末一起經(jīng)濕法球磨，得ITO漿料，其中，In2O3粉末和SnO2粉末的原始粒徑比為1：（1.0?2.0），In2O3粉末的原始粒徑為50nm?200nm；將所得ITO漿料經(jīng)噴霧造粒，得ITO造粒粉體；將所得ITO造粒粉體裝入冷壓模具中，經(jīng)振動(dòng)和抽真空操作后，再經(jīng)一步冷等靜壓成型，得ITO坯體；將所得ITO坯體在氧氣氣氛下進(jìn)行燒結(jié)，即得所述ITO燒結(jié)靶材。該制備方法所得ITO燒結(jié)靶材具有高密度、低電阻率和高強(qiáng)度的優(yōu)異性質(zhì)，解決現(xiàn)有技術(shù)的ITO燒結(jié)靶材的制備方法工藝流程復(fù)雜、成本高、對(duì)環(huán)境污染較大的問(wèn)題。