一種MEMS壓力傳感器測試結(jié)構(gòu)
基本信息
| 申請?zhí)?/td> | CN202021935135.4 | 申請日 | - |
| 公開（公告）號 | CN212903713U | 公開（公告）日 | 2021-04-06 |
| 申請公布號 | CN212903713U | 申請公布日 | 2021-04-06 |
| 分類號 | G01L25/00(2006.01)I;G01L27/00(2006.01)I | 分類 | 測量；測試; |
| 發(fā)明人 | 陳恕華;胡晨光 | 申請（專利權(quán)）人 | 蘇州搏技光電技術(shù)有限公司 |
| 代理機構(gòu) | 蘇州言思嘉信專利代理事務所（普通合伙） | 代理人 | 邵永永 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)金雞湖大道99號蘇州納米城西北區(qū)2幢101室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實用新型公開了一種MEMS壓力傳感器測試結(jié)構(gòu)，包括主體支架、安裝于主體支架上的第一擋框，所述主體支架上固定安裝有Z軸模組，位于主體支架上還設有第一測試結(jié)構(gòu)，所述第一測試結(jié)構(gòu)與Z軸模組連接。本實用新型的有益效果是，通過測試結(jié)構(gòu)與Z軸模組配合，能夠有效地對MEMS壓力傳感器進行測試，并且Z軸模組能夠控制測試結(jié)構(gòu)上下移動，適用范圍大。?? |
