一種取片、裝片裝置及采用它的裝片機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810414133.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110444499B 公開（公告）日 2022-01-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN110444499B 申請(qǐng)公布日 2022-01-04
分類號(hào) H01L21/677（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王敕 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州艾科瑞思智能裝備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州華博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭益波
地址 215000 江蘇省蘇州市常熟市東南街道東南大道1150號(hào)4-1、4-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種取片、裝片裝置及采用它的裝片機(jī)，在晶圓臺(tái)和承片臺(tái)的中間位置設(shè)置旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置，驅(qū)動(dòng)裝置連接設(shè)置擺臂本體，用于驅(qū)動(dòng)擺臂本體在水平方向?qū)崿F(xiàn)順時(shí)針180°和逆時(shí)針180°的旋轉(zhuǎn)；本發(fā)明的擺臂本體兩端均設(shè)置吸嘴，能夠同時(shí)完成取片和裝片動(dòng)作大大提高了裝片效率；其次本發(fā)明的擺臂本體順時(shí)針180°、逆時(shí)針180°交替旋轉(zhuǎn)，且擺臂本體通過特殊的匸型連接件連接在其旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置上，有效防止了氣管纏繞。同時(shí)本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)置合理，整個(gè)裝置響應(yīng)快，裝片效率和裝片良品率得到了較大改善。