一種高精度快速取片、裝片裝置及采用它的裝片機(jī)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201810417143.0 申請日 -
公開（公告）號 CN110444488B 公開（公告）日 2021-12-07
申請公布號 CN110444488B 申請公布日 2021-12-07
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王敕 申請（專利權(quán)）人 蘇州艾科瑞思智能裝備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州華博知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭益波
地址 215000 江蘇省蘇州市常熟市東南街道東南大道1150號4-1、4-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種高精度快速取片、裝片裝置，包括晶圓臺和承片臺，所述晶圓臺用于放置晶圓，所述承片臺用于放置載片基板；在所述晶圓臺和承片臺中間位置設(shè)置旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置，旋轉(zhuǎn)驅(qū)動裝置連接設(shè)置轉(zhuǎn)塔，用于驅(qū)動所述轉(zhuǎn)塔在水平方向?qū)崿F(xiàn)360°的旋轉(zhuǎn)；沿所述轉(zhuǎn)塔周向，等間距設(shè)置至少三個吸嘴，用于取出和放置晶圓上的芯片；設(shè)置垂直運(yùn)動驅(qū)動裝置，用于驅(qū)動所述吸嘴在垂直方向上下移動。本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)置合理，整個裝置響應(yīng)快，裝片效率和裝片良品率得到了較大改善。