一種長(zhǎng)距離、精準(zhǔn)快速取裝芯片裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810414132.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN110444498B 公開（公告）日 2022-01-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN110444498B 申請(qǐng)公布日 2022-01-04
分類號(hào) H01L21/677（2006.01）I;H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 王敕 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州艾科瑞思智能裝備股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州華博知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 彭益波
地址 215000 江蘇省蘇州市常熟市東南街道東南大道1150號(hào)4-1、4-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種長(zhǎng)距離、精準(zhǔn)快速取裝芯片裝置，包括晶圓臺(tái)和承片臺(tái)，所述晶圓臺(tái)用于放置晶圓，所述承片臺(tái)用于放置載片基板；所述晶圓臺(tái)和承片臺(tái)之間設(shè)置第一轉(zhuǎn)塔和第二轉(zhuǎn)塔，在所述第一轉(zhuǎn)塔和第二轉(zhuǎn)塔周向，等間距設(shè)置至少三個(gè)吸嘴，用于取出和放置晶圓上的芯片；在所述第一轉(zhuǎn)塔和第二轉(zhuǎn)塔之間設(shè)置校正臺(tái)，用于在第一轉(zhuǎn)塔和第二轉(zhuǎn)塔之間中轉(zhuǎn)所述芯片；所述第一轉(zhuǎn)塔和第二轉(zhuǎn)塔設(shè)置旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)裝置；設(shè)置垂直運(yùn)動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置。本發(fā)明的旋轉(zhuǎn)塔能夠在水平方向?qū)崿F(xiàn)360°的步進(jìn)式旋轉(zhuǎn)，同時(shí)完成取片和裝片動(dòng)作，減小了旋轉(zhuǎn)角度，大大提高了裝片效率，同時(shí)設(shè)置校正臺(tái)，裝片良品率得到了較大改善。