氧化鈦摻雜旋涂玻璃固化裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110864294.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113737278A 公開(kāi)（公告）日 2021-12-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN113737278A 申請(qǐng)公布日 2021-12-03
分類(lèi)號(hào) C30B25/08（2006.01）I;C30B25/12（2006.01）I;C30B25/10（2006.01）I;C30B29/18（2006.01）I;C30B25/14（2006.01）I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 陳維恕 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 達(dá)高工業(yè)技術(shù)研究院（廣州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州科沃園專利代理有限公司 代理人 張帥
地址 510530廣東省廣州市黃埔區(qū)新瑞路6號(hào)B201房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)一種氧化鈦摻雜旋涂玻璃固化裝置，包括反應(yīng)爐，反應(yīng)爐為反向石英雙爐管設(shè)計(jì)，反應(yīng)爐的上端開(kāi)設(shè)有石英分隔板，石英分隔板將反應(yīng)爐的內(nèi)外雙石英管分為內(nèi)通道和外通道，內(nèi)通道上設(shè)置有第一進(jìn)氣口和第二進(jìn)氣口，外通道上設(shè)置有出氣口，反應(yīng)爐的頂端設(shè)置有進(jìn)料口，進(jìn)料口上方設(shè)置有多層石墨基座，多層石墨基座通過(guò)升降機(jī)構(gòu)進(jìn)入進(jìn)料口進(jìn)行反應(yīng)，反應(yīng)爐的外管壁上由上而下分別設(shè)置有第一線圈和第二線圈，第一線圈和第二線圈用于為反應(yīng)爐加熱，本發(fā)明利用反向的反應(yīng)爐管以及多層石墨基座，并用線圈式的感應(yīng)加熱方式，可以大大節(jié)省徑向空間，精確控制石墨基座的溫度，指導(dǎo)晶體生長(zhǎng)方向，大大提高反應(yīng)溫度控制精度，提高產(chǎn)品整體質(zhì)量。