一種基于同步運動式圓度誤差分離裝置及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711359653.9 申請日 -
公開（公告）號 CN108061532B 公開（公告）日 2019-12-03
申請公布號 CN108061532B 申請公布日 2019-12-03
分類號 G01B21/00 分類 測量；測試;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權）人 揚州市旅游日用品制造總廠
代理機構 北京華識知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 揚州市旅游日用品制造總廠
地址 225000 江蘇省揚州市杭集鎮(zhèn)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明一種基于同步運動式圓度誤差分離裝置及方法屬于精密儀器制造及測量技術領域；該方法主要在超精密圓度測量儀中引入一個可以與超精密圓度誤差測量儀回轉工作臺同向旋轉的誤差分離轉臺，通過三次測量含有不同系統(tǒng)分量的圓周信號，分離出被測件的圓度誤差、超精密圓度測量儀器的回轉工作臺徑向回轉誤差和誤差分離轉臺的徑向回轉誤差中的任意一種，與應用最廣泛的多步法相比，此方法完全在空域中解決問題，不涉及傅里葉變換，完全避免了諧波抑制，且測量與計算過程簡單，無模型誤差，為超精密級圓度誤差分離提供了一種新的思路。