基于氣浮傳輸下玻璃基板的角度補(bǔ)正機(jī)構(gòu)和AOI檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010945469.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112098418A 公開（公告）日 2020-12-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN112098418A 申請(qǐng)公布日 2020-12-18
分類號(hào) G01N21/88;G01N21/01 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 黃旭;周秋俊;胡盛財(cái);董勤;楊如意;陳尹力 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽皓視光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京潤平知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 安徽皓視光電科技有限公司
地址 241000 安徽省蕪湖市弋江區(qū)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)4#廠房一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于氣浮傳輸下玻璃基板的角度補(bǔ)正機(jī)構(gòu)和AOI檢測(cè)裝置，該角度補(bǔ)正機(jī)構(gòu)包括吸盤吸附模組能夠?qū)飧l件下玻璃基板吸附在吸盤上；擺臂旋轉(zhuǎn)模組一端與所述絲桿滑軌模組的運(yùn)動(dòng)端連接，另一端與吸盤吸附模組底部固定連接；絲桿滑軌模組能夠驅(qū)動(dòng)擺臂旋轉(zhuǎn)模組帶動(dòng)吸盤吸附模組吸附玻璃，使玻璃在氣浮條件下進(jìn)行水平角度補(bǔ)正范圍在(?1.5°)至1.5°；其中，絲桿滑軌模組運(yùn)動(dòng)精度為0.1?0.4um，擺臂旋轉(zhuǎn)模組的旋轉(zhuǎn)精度在±0.02分，從而使得玻璃旋轉(zhuǎn)精度為±0.02分。該角度補(bǔ)正機(jī)構(gòu)能夠?qū)ΣＡЩ暹M(jìn)行微調(diào)，實(shí)現(xiàn)對(duì)玻璃基板的角度補(bǔ)正，從而提高玻璃基板中缺陷的檢出率。