壓電諧振器

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122921061.X 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN216390944U 公開（公告）日 2022-04-26
申請公布號(hào) CN216390944U 申請公布日 2022-04-26
分類號(hào) H03H9/17（2006.01）I;H03H9/02（2006.01）I 分類 基本電子電路;
發(fā)明人 楊帥;吳珂;張麗蓉;莊智強(qiáng);王超 申請（專利權(quán)）人 瑞聲科技（南京）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳紫辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 萬鵬
地址 210046江蘇省南京市棲霞區(qū)仙林大學(xué)城元化路南大科學(xué)園新興產(chǎn)業(yè)孵化基地研發(fā)樓8層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種壓電諧振器包括：具有聲學(xué)反射鏡的襯底、設(shè)置于襯底的底電極、設(shè)置于襯底并覆蓋底電極的壓電層、以及疊設(shè)于壓電層遠(yuǎn)離底電極一側(cè)的頂電極；聲學(xué)反射鏡、底電極、壓電層、頂電極在壓電諧振器的厚度方向上共同交疊重合形成的空間區(qū)域?yàn)橹C振區(qū)，頂電極自其側(cè)面向著頂電極的中心凹陷形成凹陷部，凹陷部未延伸至頂電極的上表面或下表面；或者，底電極自其側(cè)面向著底電極的中心凹陷形成凹陷部，凹陷部未延伸至底電極的上表面或下表面。本實(shí)用新型的壓電諧振器能夠有效避免低頻段產(chǎn)生的寄生諧振峰問題。