一種靶材組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021677102.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214327865U 公開（公告）日 2021-10-01
申請公布號 CN214327865U 申請公布日 2021-10-01
分類號 C23C14/35（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 姚力軍;邊逸軍;潘杰;王學澤;董志清 申請（專利權）人 寧波江豐電子材料股份有限公司
代理機構 北京遠智匯知識產權代理有限公司 代理人 王巖
地址 315400浙江省杭州市余姚市經濟開發(fā)區(qū)名邦科技工業(yè)園區(qū)安山路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種靶材組件，所述靶材組件中靶材的濺射端面設置有花紋環(huán)；所述花紋環(huán)中的花紋為網狀花紋；所述花紋環(huán)的外徑等于所述靶材的外徑。本實用新型提供的靶材組件通過對靶材的反濺射面設置新的花紋，進一步增強反濺射區(qū)域對粒子的附著力，有效延長產品使用壽命，避免反濺射區(qū)域附著物脫落，導致損壞晶圓。