噴嘴自清潔及防護(hù)系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201720883960.6 申請日 -
公開（公告）號 CN207126885U 公開（公告）日 2018-03-23
申請公布號 CN207126885U 申請公布日 2018-03-23
分類號 B08B3/02;B08B5/02 分類 清潔;
發(fā)明人 吳謙國 申請（專利權(quán)）人 合肥通富微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京志霖恒遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 郭棟梁
地址 230000 安徽省合肥市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)翠微路6號海恒大廈6012室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種噴嘴自清潔及防護(hù)系統(tǒng)，包括設(shè)備顯影單元，所述設(shè)備顯影單元內(nèi)設(shè)有作業(yè)腔，所述作業(yè)腔旁安裝有導(dǎo)軌，所述導(dǎo)軌上安裝有機(jī)械臂，所述機(jī)械臂一端安裝有噴嘴，所述噴嘴上安裝有防護(hù)罩，所述設(shè)備顯影單元內(nèi)還設(shè)有清洗基座，所述清洗基座上設(shè)有多個用于噴出清洗液或者空氣的噴頭。根據(jù)本申請實施例提供的技術(shù)方案，通過在噴嘴上設(shè)置防護(hù)罩有效避免噴霧噴嘴在使用過程中對作業(yè)環(huán)境的沾污，并且能過對防護(hù)罩進(jìn)行清潔，結(jié)構(gòu)簡單，成本低，效率高。