一種微塵清潔裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922178562.6 申請日 -
公開（公告）號 CN211938208U 公開（公告）日 2020-11-17
申請公布號 CN211938208U 申請公布日 2020-11-17
分類號 B08B5/02(2006.01)I 分類 清潔;
發(fā)明人 魏加杰;陳偉光;盧鳳軍;周崇銘 申請（專利權(quán)）人 合肥通富微電子有限公司
代理機構(gòu) 北京志霖恒遠(yuǎn)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 郭棟梁
地址 230000安徽省合肥市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)翠微路6號海恒大廈6012室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請公開了一種微塵清潔裝置，可以應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路封裝領(lǐng)域，用于清潔待封裝的半導(dǎo)體器件，由于半導(dǎo)體器件在生產(chǎn)的過程中易受到外部微塵的污染，在封裝后無法清除，微塵會影響半導(dǎo)體器件的產(chǎn)品質(zhì)量，本申請通過設(shè)置吹風(fēng)組件，吹風(fēng)組件包括調(diào)節(jié)裝置和設(shè)置在所述調(diào)節(jié)裝置上的吹風(fēng)頭，調(diào)節(jié)裝置用于在水平方向調(diào)節(jié)吹風(fēng)頭的位置，吹風(fēng)頭包括至少一個開口向下的出氣管，和設(shè)置在吹風(fēng)頭的下方的固定組件，吹風(fēng)組件用于固定位于固定組件上方且位于吹風(fēng)頭下方的傳送帶，通過固定組件固定傳送帶，吹風(fēng)頭向半導(dǎo)體器件表面吹風(fēng)實現(xiàn)對微塵的清理，進而保證了半導(dǎo)體器件的質(zhì)量。??