光刻圖像的生成方法、裝置和電子設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110170906.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112785665A 公開（公告）日 2021-05-11
申請公布號 CN112785665A 申請公布日 2021-05-11
分類號 G06T11/00 分類 計算；推算；計數(shù);
發(fā)明人 汪昱坤;李桂林;黃凱 申請（專利權(quán)）人 武漢華工圖像技術(shù)開發(fā)有限公司
代理機構(gòu) 北京超凡宏宇專利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 徐麗
地址 430000 湖北省武漢市華工科技園內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種光刻圖像的生成方法、裝置和電子設(shè)備，包括：獲取待處理圖像的像素矩陣，該像素矩陣中包含有待處理圖像中的每個像素點對應(yīng)的像素值；按照預(yù)設(shè)規(guī)則，將像素矩陣中每個像素點的像素值替換為灰度值；基于預(yù)先建立的包含有每個灰度值對應(yīng)的曲線光柵圖的圖像集合，將像素矩陣中的灰度值替換為灰度值對應(yīng)的曲線光柵圖；將替換后的像素矩陣對應(yīng)的待處理圖像，確定為光刻圖像。該方法通過曲線光柵替換待處理圖像中的灰度值，從而避免了現(xiàn)有技術(shù)中漸變圖案利用直線光柵光刻制版的不連續(xù)性和對點光源的依賴性；同時，由于整體光柵的利用率高，增加了整體的亮度，解決了現(xiàn)有直線光柵制造漸變圖案的固有缺陷。