電容式傳感器及組合電容式位移測(cè)量傳感系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310612166.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN104677390B 公開(kāi)（公告）日 2017-09-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN104677390B 申請(qǐng)公布日 2017-09-29
分類(lèi)號(hào) G01D5/241(2006.01)I;G01B7/02(2006.01)I 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 林立 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 山東林諾威神工控技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京博雅睿泉專(zhuān)利代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 林立;山東林諾威神工控技術(shù)有限公司
地址 美國(guó)特拉華州
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種電容式傳感器及組合電容式位移測(cè)量傳感系統(tǒng)，具有至少一個(gè)固定部件STATOR，具有電連接在一起的按預(yù)定的距離分布的m個(gè)導(dǎo)電極片的第一電容極片組，和電連接在一起的按預(yù)定的距離分布的m個(gè)導(dǎo)電極片的第二電容極片組，兩組極片交替排列在電絕緣基底上；至少一個(gè)運(yùn)動(dòng)部件MOVER，具有n個(gè)接地電極片；固定部件STATOR的電容極片與運(yùn)動(dòng)部件MOVER的接地極片形成可變電容；運(yùn)動(dòng)部件MOVER以某種可控方式相對(duì)于固定部件STATOR運(yùn)動(dòng)改變可變電容器的重疊面積，使其電容量發(fā)生變化，可反映位移。還包括用于測(cè)量電容組電子信號(hào)、得到位移數(shù)據(jù)的信號(hào)處理系統(tǒng)；通過(guò)對(duì)極片形狀和布局的設(shè)計(jì)得到可變電容之間的相互補(bǔ)償減小電容間隙變化的影響，完成高精度大量程相對(duì)及絕對(duì)位移測(cè)量。