一種在線非接觸測(cè)厚設(shè)備及其測(cè)量方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710078987.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106871773B 公開（公告）日 2019-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN106871773B 申請(qǐng)公布日 2019-07-09
分類號(hào) G01B7/02（2006.01）I; G01B7/06（2006.01）I; G01B11/06（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 鄭長(zhǎng)文 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 東莞市嘉儀自動(dòng)化設(shè)備科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 東莞市華南專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 張明
地址 526060 廣東省肇慶市端州區(qū)東湖南路端州工業(yè)城A幢
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種在線非接觸測(cè)厚設(shè)備，包括中心控制臺(tái)和設(shè)置于中心控制臺(tái)一旁的設(shè)備機(jī)架，所述設(shè)備機(jī)架上設(shè)置有導(dǎo)料組件、測(cè)量組件以及用于支撐測(cè)量組件的橫梁頂塊，所述測(cè)量組件滑動(dòng)設(shè)于橫梁頂塊，所述測(cè)量組件包括磁場(chǎng)傳感器、光發(fā)射器及CCD傳感器；所述導(dǎo)料組件包括設(shè)置于測(cè)量組件下方的主動(dòng)輥輪和從動(dòng)輥輪；所述磁場(chǎng)傳感器設(shè)于主動(dòng)輥輪的正上方；所述光發(fā)射器和CCD傳感器分別位于主動(dòng)輥輪的兩側(cè)并朝向磁場(chǎng)傳感器正對(duì)在主動(dòng)輥輪的位置上。本發(fā)明通過磁場(chǎng)傳感器和光學(xué)測(cè)微儀相結(jié)合的測(cè)量方式，能夠有效減少外界因素對(duì)測(cè)量的影響，同時(shí)能對(duì)更大面積的非磁性薄膜類進(jìn)行高精度測(cè)量。