密封裝置、密封控制系統(tǒng)及硅烷壓縮機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111675821.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114135519A 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN114135519A 申請公布日 2022-03-04
分類號 F04D29/08（2006.01）I;F04D29/10（2006.01）I;F04D27/00（2006.01）I 分類 液體變?nèi)菔綑C械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 王澤平;柳建容;劉婷 申請（專利權(quán)）人 中密控股股份有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 610041四川省成都市武侯區(qū)武科西四路八號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及一種密封裝置、密封控制系統(tǒng)及硅烷壓縮機，涉及含硅半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，其中密封裝置包括從介質(zhì)側(cè)向軸承側(cè)設(shè)置四級密封，依次為一級密封機構(gòu)、二級密封機構(gòu)、三級密封機構(gòu)和四級密封機構(gòu)；所述一級密封機構(gòu)、所述二級密封機構(gòu)和所述三級密封機構(gòu)均采用干氣密封結(jié)構(gòu)并串聯(lián)布置，所述四級密封機構(gòu)采用梳齒密封結(jié)構(gòu)，其中所述一級密封機構(gòu)的密封氣與介質(zhì)相同；硅烷壓縮機包括上述密封裝置，二級密封機構(gòu)的密封氣壓力大于所述一級密封機構(gòu)的泄漏氣壓力；密封控制系統(tǒng)包括供氣單元、過濾單元、流量調(diào)節(jié)單元、氣壓檢測單元以及泄漏氣監(jiān)測單元。該申請具有能夠杜絕外部非硅烷氣體進入壓縮機以提高運行穩(wěn)定性及泄漏硅烷可控可回收的優(yōu)點。