控制大尺寸全固態(tài)電致變色器件著色的工藝方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110160613.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112981343A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112981343A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-18 |
| 分類(lèi)號(hào) | C23C14/35;C23C14/54;G02F1/155 | 分類(lèi) | 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕; |
| 發(fā)明人 | 趙勇 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 蘇州光昛智能科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥天明專(zhuān)利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 婁岳 |
| 地址 | 215000 江蘇省蘇州市太倉(cāng)市大連東路36號(hào)1號(hào)樓1層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了一種控制大尺寸全固態(tài)電致變色器件著色的工藝方法，所述電致變色器件包括第一透明導(dǎo)電層和第二透明導(dǎo)電層，利用磁控濺射工藝在基板上鍍第一透明導(dǎo)電層和第二透明導(dǎo)電層時(shí)，沿著第一透明導(dǎo)電層的陽(yáng)極到陰極方向，所使用的氧氣分壓梯度逐漸減少，沿著第二透明導(dǎo)電層的陽(yáng)極到陰極方向，說(shuō)是使用的氧氣分壓梯度逐漸增加。 |
