帶有防護(hù)裝置的反應(yīng)腔

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811583844.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111349909A 公開(kāi)（公告）日 2020-06-30
申請(qǐng)公布號(hào) CN111349909A 申請(qǐng)公布日 2020-06-30
分類號(hào) C23C16/44;C23C16/455 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 龐云玲;王祎;南建輝;丁建 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市永盛隆科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華夏泰和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孟德棟
地址 518112 廣東省深圳市龍崗區(qū)布吉街道金排社區(qū)東方盛世C棟2單元403
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種帶有防護(hù)裝置的反應(yīng)腔，包括：腔體和設(shè)置在腔體內(nèi)的載板、噴淋裝置及輔助裝置；載板用于承載晶片；噴淋裝置位于載板的上方；輔助裝置位于載板的下方；腔體內(nèi)還設(shè)置有防護(hù)裝置，防護(hù)裝置用于將載板的上方區(qū)域和下方區(qū)域分隔；和/或用于改變腔體內(nèi)氣體通道中氣流的流動(dòng)方向，以使氣流經(jīng)過(guò)薄膜生長(zhǎng)區(qū)之外的區(qū)域，并限制薄膜生長(zhǎng)區(qū)的氣體與薄膜生長(zhǎng)區(qū)之外的氣體的交換。利用本發(fā)明，反應(yīng)后的氣體、副產(chǎn)品及其微粒由腔體上的排氣口排出，從而對(duì)生長(zhǎng)區(qū)之外的零部件進(jìn)行防護(hù)，提高了產(chǎn)品的質(zhì)量，同時(shí)提高了腔體內(nèi)零部件的壽命，縮短了腔體內(nèi)零部件的維護(hù)周期和維護(hù)成本。