芯片制造設(shè)備的監(jiān)控方法、系統(tǒng)和裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811458747.6 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111258276A 公開(kāi)（公告）日 2020-06-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN111258276A 申請(qǐng)公布日 2020-06-09
分類號(hào) G05B19/418 分類 控制；調(diào)節(jié);
發(fā)明人 謝凱;段麗霞 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市永盛隆科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華夏泰和知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孟德棟
地址 518112 廣東省深圳市龍崗區(qū)布吉街道金排社區(qū)東方盛世C棟2單元403
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種芯片制造設(shè)備的監(jiān)控方法、系統(tǒng)和裝置。其中，該方法包括：上位機(jī)確定芯片制造設(shè)備當(dāng)前所執(zhí)行的任務(wù)和任務(wù)所處的階段；上位機(jī)確定與任務(wù)和階段對(duì)應(yīng)的工藝參數(shù)采集視圖，工藝參數(shù)采集視圖用于指示數(shù)據(jù)采集參數(shù)，數(shù)據(jù)采集參數(shù)包括：采集項(xiàng)目和/或采集頻率；上位機(jī)向至少一個(gè)控制器發(fā)送監(jiān)控指令，其中，監(jiān)控指令包括數(shù)據(jù)采集參數(shù)；上位機(jī)接收至少一個(gè)控制器根據(jù)數(shù)據(jù)采集參數(shù)采集的反應(yīng)腔室內(nèi)的工藝數(shù)據(jù)，反應(yīng)腔室為至少一個(gè)控制器所控制的芯片制造設(shè)備的反應(yīng)腔室。本發(fā)明解決了芯片制造設(shè)備的監(jiān)控系統(tǒng)將工藝數(shù)據(jù)在工藝結(jié)束后上傳系統(tǒng)，導(dǎo)致無(wú)法滿足監(jiān)控需求的技術(shù)問(wèn)題。