薄膜剝離工藝的配置方法及裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811643616.5 申請日 -
公開（公告）號 CN111384207A 公開（公告）日 2020-07-07
申請公布號 CN111384207A 申請公布日 2020-07-07
分類號 H01L31/18 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 謝凱;王敬苗 申請（專利權(quán)）人 深圳市永盛隆科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京華夏泰和知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 孟德棟
地址 518112 廣東省深圳市龍崗區(qū)布吉街道金排社區(qū)東方盛世C棟2單元403
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種薄膜剝離工藝的配置方法及裝置。薄膜剝離工藝包括多個工藝步驟，多個工藝步驟包括預(yù)加熱工藝步驟和刻蝕工藝步驟，上述配置方法包括：配置與預(yù)加熱工藝步驟相對應(yīng)的第一工藝信息，第一工藝信息包括預(yù)加熱工藝步驟的工藝流程；配置與刻蝕工藝步驟相對應(yīng)的第二工藝信息，第二工藝信息包括刻蝕工藝步驟的工藝流程。上述方法通過配置預(yù)加熱工藝步驟的第一工藝信息以及刻蝕工藝步驟的第二工藝信息，將兩個工藝步驟進(jìn)行統(tǒng)一控制，從而將不同工藝槽工位的控制信息相互關(guān)系統(tǒng)一，將物料在工藝流程中經(jīng)歷的工位與控制信息關(guān)聯(lián)到一起，實(shí)現(xiàn)了物料根據(jù)生產(chǎn)實(shí)際情況自動選擇路徑執(zhí)行工藝的功能，使生產(chǎn)控制簡單靈活。